酸化を防ぐために酸素分をパージするために窒素ガスの分圧を増やすなど、反応炉などを満たすガス分圧(雰囲気）制御するために投入されるガスのことを指す。主に不活性雰囲気を作るために投入される窒素やアルゴンなどを雰囲気ガスと称している。