オンサイト装置が止まった際にガス切れを起こさないよう液製品を供給量をカバーすることなどを示す用語。オンサイト装置のバックアップには液以外にも、予備機を用意しておいて、トラブル時には切替える方法もある。予備機のことをバックアッププラントと呼ぶこともある。