産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説
Dictionary
産業ガス業界辞典
クリーン容器
【Clean Container】
読み:くりーんようき
半導体プロセスで使用するガスをよりクリーンな状態で供給するために容器内面を電解研磨などでクリーン処理した容器のこと。
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【Clean Container】
読み:くりーんようき
半導体プロセスで使用するガスをよりクリーンな状態で供給するために容器内面を電解研磨などでクリーン処理した容器のこと。
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