コイルチューブとは、主に半導体・液晶製造分野でのガス供給用に採用されている配管のこと。BA（光輝焼鈍）コイルチューブは30～200m、EP（電解研磨）コイルチューブの場合、30～100ｍを用いる。採用することにより、一般的なパイプに比べ、1本当たり100m以上の長さを持つことが出来る点から、溶接箇所が一桁台へ削減可能で、配管施工の工程が短縮できる。加えて、溶接不良や汚染、パーティクル発生を避けられるといった効果がある。