産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説
Dictionary
産業ガス業界辞典
排ガス処理装置
【Exhaust Gas After-Treatment Device】
読み：はいがすしょりそうち
半導体製造プロセスで使用した後の排ガスを環境規制値以下に無害化処理するための装置。無害化だけでなく地球温暖化対策のため温室効果の高いガスを分解、処理する役割も担っている。
Memo
別名：除害装置
産業ガスから世界を読み解くための
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