産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説

Dictionary

産業ガス業界辞典

ヘリウム冷凍機

【Helium Refrigerator】

読み:へりうむれいとうき

ヘリウムガスの断熱膨張を利用して、4~10K(約-269℃~263℃)の極低温領域までの冷却するための装置。MRI装置の液体ヘリウムの再凝縮や半導体製造装置のクライオポンプ、極低温研究での試料の冷却に使われている。

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