産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説
Dictionary
産業ガス業界辞典
ヘリウム冷凍機
【Helium Refrigerator】
読み:へりうむれいとうき
ヘリウムガスの断熱膨張を利用して、4~10K(約-269℃~263℃)の極低温領域までの冷却するための装置。MRI装置の液体ヘリウムの再凝縮や半導体製造装置のクライオポンプ、極低温研究での試料の冷却に使われている。
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【Helium Refrigerator】
読み:へりうむれいとうき
ヘリウムガスの断熱膨張を利用して、4~10K(約-269℃~263℃)の極低温領域までの冷却するための装置。MRI装置の液体ヘリウムの再凝縮や半導体製造装置のクライオポンプ、極低温研究での試料の冷却に使われている。
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