半導体製造装置へのガス供給において、ガス流路や基板レールを設置し、MFC、圧力センサ、圧力調整弁、バルブ、フィルターなどの構成機器を集めて配置した供給システムのこと。設置面積の削減と溶接施工ポイントの削減で不要な紺谷メーションをを防ぐ。