産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説

EOR（Enhanced Oil Recovery）は、原油増進回収法と呼ばれ、油田の油層に炭酸ガスを送り込み、原油を回収するという方法のこと。原油の一次回収量は全油量の20％程度といわれている。そこで一次回収量が減衰してきた際に炭酸ガスを...続きを読む

医療器具の滅菌作業で使用した滅菌ガスを排出する際に無害化するための装置。滅菌ガスには発がん性があり、労働安全衛生法により作業環境濃度、人体許容濃度以下に処理しなければならない。

酸化エチレンを使った医療器具の滅菌法。医療器具メーカーから医療機関に提供される使い捨て医療器具では、出荷前にEOG滅菌を施すほか、院内で繰り返し使われる手術器具については、院内でEOG滅菌器を使って、滅菌作業が行われる。

最先端の半導体露光プロセスで、水素ガス雰囲気中に錫（Sn）を滴下、そこにCO₂レーザを照射する。レーザ発振用炭酸ガス需要とともに水素ガスが大量に必要となる半導体プロセス向けガスアプリケーションである。