産業ガス業界辞典

吸着剤のⅠ種であるモレキューラーシーブスゼオライトの分子ふるい機能を使って空気から酸素ガスを分離発生させる装置のこと。高圧ガス保安法適用外で酸素ガスを発生させることができる。電炉をはじめガラス溶融、水処理、養殖向けなどの酸素供給に使われてい...続きを読む

最先端3D半導体製造でのドライエッチングガス。東京エレクトロンの子会社が23年６月に開発した深さ10μｍ、400層を超える3D-NAND型フラッシュメモリ向け超高速かつ地球温暖化計数84%削減を実現したメモリチャンネルホールエッチング技術に...続きを読む

活性炭やゼオライトの持つ分子ふるい機能を利用して空気から酸素、窒素を分離する方法のこと。活性炭は窒素ガスの製造用、窒素PSAにゼオライトは酸素ガスの製造用、酸素PSAに用いられる。PSAは深冷空気分離と異なり、常温での空気分離が可能となる。...続きを読む

半導体製造プロセスで使われるフッ素系ガスの総称。ＣＦ4，ＣＨＦ3，Ｃ2Ｆ6など。

Power-to-gasの略で、太陽光発電や風力発電などの再生可能エネルギーから生み出される余剰電力で水素やメタン、合成ガス、LPG、アンモニアなどのガスを製造し、供給すること。太陽光や風力の（系統に接続できない）余剰電力の有効活用に期待さ...続きを読む

百万分率。1ppm=0.01%、10億分の1はppb、1兆分の1はppt

陽電子放出断層撮影と呼ばれる診断技術。がん細胞の増強と深く関与している糖代謝を画像で診断する装置。PET検査はさまざまな部位のがんの診断に有効で、特に頭頸部がんや、悪性リンパ腫、悪性黒色腫、肺がん、乳がん、大腸がん、肝臓がんで行われている。...続きを読む