産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説
Dictionary
産業ガス業界辞典
電子材料ガス
【Electronic Material Gas】
読み:でんしざいりょうがす
ガス供給のパイプやチューブに微細なごみが付着しないように、内面平滑度を微小にする技術のこと。メッキの逆原理で、電解液の入った電解槽に被研磨物を浸し、電気を流す。被研磨物の表面の金属がイオン化して溶出することで、平滑な研磨面が得られるというもの。
Memo
別名:特殊材料ガス / エレクトロニクスガス / プロセスガス / スペシャルティガス