産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
プロセスガス
読み：ぷろせすがす
半導体製造プロセスで使用されるガスの中で、半導体の材料となるガス（製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス）のこと。
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読み：ぷろせすがす
半導体製造プロセスで使用されるガスの中で、半導体の材料となるガス（製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス）のこと。
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