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Dictionary
読み：はいがすしょりそうち
半導体製造プロセスで使用した後の排ガスを環境規制値以下に無害化処理するための装置。無害化だけでなく地球温暖化対策のため温室効果の高いガスを分解、処理する役割も担っている。
Memo
別名：除害装置
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