最先端の半導体露光プロセスで、水素ガス雰囲気中に錫（Sn）を滴下、そこにCO₂レーザを照射する。レーザ発振用炭酸ガス需要とともに水素ガスが大量に必要となる半導体プロセス向けガスアプリケーションである。