分析プロセスで試料を装置まで運ぶための圧力源となるガスのこと。半導体製造プロセスにおいても、プロセスに必要なガスの圧送用に使われる。不活性の窒素、アルゴン、ヘリウムの他、水素などもキャリアガスとなる。