産業ガス業界辞典

最先端の半導体露光プロセスで、水素ガス雰囲気中に錫（Sn）を滴下、そこにCO₂レーザを照射する。レーザ発振用炭酸ガス需要とともに水素ガスが大量に必要となる半導体プロセス向けガスアプリケーションである。

FCVへの水素充填を行う水素ステーションの設置に際して、最適な用地が確保が難しいケースに対応し、トラック架台にディスペンサー、圧縮機、水素貯蔵部などをマウントした水素充填設備のこと。移動式といっても、充填を行う場合は充填場所の許可申請が必要...続きを読む

医療施設の中で医療用酸素をはじめとするガスを送給するための配管。酸素の他、炭酸ガス、吸引ガスを貯蔵施設から手術室、回復室、病室などをつないでいる。

半導体製造時の特殊材料ガスの不純物除去にガス配管内のフィルター用として使われている。

90年代に東北大学工学部大見忠弘教授が提唱した半導体デバイスの微細加工におけるプロセス概念。半導体プロセスの微細加工での問題点は、ウェーハ原料や加工に使用する材料の不純物であるとして、ガス、ケミカル、水などの材料、素材の高純度化とユースポイ...続きを読む

大気から深冷空気分離装置で製造される酸素、窒素、アルゴンなどの総称。キセノン、ネオン、クリプトンも大気分離ガスであるが、こちらはレアガスと呼ばれる。

液化水素の大量輸送手段であり、40ftコンテナでは圧縮水素トレーラー12台分に相当する量を一度に運ぶことができる。

LNGは液体状態の天然ガスのこと。天然ガスは海外のガス田から効率的に輸入してくるため、液化され輸入され、発電燃料や都市ガス原料として使われている。天然ガス(メタン)は、常圧でマイナス160℃で液化する。産業ガス業界ではLNGの冷熱を深冷空気...続きを読む

客先に設置した液化ガス貯槽（CE）にローリー車で液を運ぶ供給法のこと。中規模のガスユーザーに対して行われる。ユーザーはCEの貯めた液を蒸発させて使用する。

貯槽や容器に入っている液面を自動的に検知するための機器。最も汎用的なものがフロート式で、同方式はフロートが常に液面に浮いていて、フロートの上下動がワイヤーあるいはテープにより液面計本体に伝えられ、液面の位置が表示される仕組みとなっている。そ...続きを読む

SDS（Safe Delivery Sourse）は、アルシン・ホスフィンなど高い毒性を持った特殊材料ガスを安全に貯蔵し輸送するためのシリンダー。大気圧以下の低圧充填であり、高圧ガス保安法適用外になる。アルミ製シリンダー内部にカーボン系の特...続きを読む

SPD（Supply Processing and Distribution)は、医療施設で消費する医療器具や衛生用品、事務用品などの物品・物流を管理するシステムのこと。SPDを導入してアウトソーシングすることで医療施設では、日々の消耗品の...続きを読む

体積の単位。立方メートルのことだが、業界慣例では、「リューベ」と呼称する。これは㎥を漢字で表記する際、立方米とし、この読み方からリューベになったとみられる。産業ガス業界では、S㎥とN㎥の二つの㎥を使っている。S㎥は30℃、1気圧の体積、N㎥...続きを読む

Non-Reusable Cylinderの略で、高圧ガスを一度だけ充填できる容器のこと。フルオロカーボン混合冷媒の供給用として使われている。

体積の単位。立方メートルのことだが、業界慣例では、「リューベ」と呼称する。これは㎥を漢字で表記する際、立方米とし、この読み方からリューベになったとみられる。産業ガス業界では、S㎥とN㎥の二つの㎥を使っている。S㎥は30℃、1気圧の体積、N㎥...続きを読む

都市ガスやLPガスを燃料に装置内で水素を改質、FCスタックで発電し家庭に電気と熱（お湯）を供給する機器。FCCJ（燃料電池実用化推進協議会）がエネファームと商標統一した。2009年より一般発売されている。

カーボンニュートラルの実現のために石炭や石油、天然ガスなど化石燃料から水素やアンモニアなど炭素を含まないガスにエネルギーを転換していこうという動きのこと。電気への代替が難しい熱需要のCO₂排出削減の手段としてボイラー熱源、バーナなどで水素、...続きを読む

ガスを詰める内容器の周りをガラス繊維や炭素繊維で補強した複合構造の容器。同じ内容積であれば、鋼製容器の約半分、アルミ容器の6~7割の重量しかない軽さが最大の特徴。在宅酸素療法での患者宅のバックアップ容器の他、FCV車載、水素ステーション蓄圧...続きを読む

FCV(Fuel Cell Vechicle)は、車内に搭載した燃料電池で発電、モーターを駆動させて走行する電気自動車のことで燃料電池自動車ともいう。走行中にCO₂を排出しないクリーンな車として期待された。燃料電池の燃料として水素を利用する...続きを読む

モーター駆動の電力供給に燃料電池を使うフォークリフト。エンジン式に比べ、稼働時にCO₂やNOxなどを排出しない。バッテリー式に比べて燃料チャージ時間（水素充填時間）が短時間という利便性を持つ。