容器やチャンバー内に残存するガスを抜くためのポンプのこと。食品などの梱包から半導体製造装置まで、様々なグレードの真空ポンプがある。低真空ではダイヤフラム真空ポンプやドライポンプ、中真空では油圧回転真空ポンプ、超高真空ではクライオポンプやターボ分子ポンプがある。