半導体製造プロセスで使用されるガスの中で半導体の材料となるガス（製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス）のこと。これらガス種は、少量多品種で20種類以上にも及ぶ。まさに特殊（スペシャル）なガスである