産業ガス業界辞典

最先端の半導体露光プロセスで、水素ガス雰囲気中に錫（Sn）を滴下、そこにCO₂レーザを照射する。レーザ発振用炭酸ガス需要とともに水素ガスが大量に必要となる半導体プロセス向けガスアプリケーションである。

FCVへの水素充填を行う水素ステーションの設置に際して、最適な用地が確保が難しいケースに対応し、トラック架台にディスペンサー、圧縮機、水素貯蔵部などをマウントした水素充填設備のこと。移動式といっても、充填を行う場合は充填場所の許可申請が必要...続きを読む

医療施設の中で医療用酸素をはじめとするガスを送給するための配管。酸素の他、炭酸ガス、吸引ガスを貯蔵施設から手術室、回復室、病室などをつないでいる。

半導体製造時の特殊材料ガスの不純物除去にガス配管内のフィルター用として使われている。

90年代に東北大学工学部大見忠弘教授が提唱した半導体デバイスの微細加工におけるプロセス概念。半導体プロセスの微細加工での問題点は、ウェーハ原料や加工に使用する材料の不純物であるとして、ガス、ケミカル、水などの材料、素材の高純度化とユースポイ...続きを読む

大気から深冷空気分離装置で製造される酸素、窒素、アルゴンなどの総称。キセノン、ネオン、クリプトンも大気分離ガスであるが、こちらはレアガスと呼ばれる。

液化水素の大量輸送手段であり、40ftコンテナでは圧縮水素トレーラー12台分に相当する量を一度に運ぶことができる。

LNGは液体状態の天然ガスのこと。天然ガスは海外のガス田から効率的に輸入してくるため、液化され輸入され、発電燃料や都市ガス原料として使われている。天然ガス(メタン)は、常圧でマイナス160℃で液化する。産業ガス業界ではLNGの冷熱を深冷空気...続きを読む

客先に設置した液化ガス貯槽（CE）にローリー車で液を運ぶ供給法のこと。中規模のガスユーザーに対して行われる。ユーザーはCEの貯めた液を蒸発させて使用する。

貯槽や容器に入っている液面を自動的に検知するための機器。最も汎用的なものがフロート式で、同方式はフロートが常に液面に浮いていて、フロートの上下動がワイヤーあるいはテープにより液面計本体に伝えられ、液面の位置が表示される仕組みとなっている。そ...続きを読む