産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説

半導体工場で使用される特殊材料ガスを安全に使用するために特殊材料ガスシリンダーを格納する容器保管庫。ガスキャビネット、シリンダーキャビネット、ボンベボックスなどと呼ばれている。シリンダー交換時には窒素ガスによるパージ機能ガス漏洩に際して、洩...続きを読む

転倒事故を防ぐため、高圧ガスボンベを安全に使用場所に運ぶための鉄やステンレス製の台車。移動先で定置させるためのボンベスタンドもある。