Dictionary
読み:きがりかいせい
読み:ぎゃくしべん
ガスが逆流した場合、迅速かつ自動的に防止する機能を果たす装置。緊急遮断用としても利用できるスイング式と、主に小口径であるリフト式の2種類に分別できる。逆流が生じると全設備に多大な影響が及ぶので、ガス供給配管には必ず設置される。
読み:ぎゃっか
読み:きゃりあがす
分析プロセスで試料を装置まで運ぶための圧力源となるガスのこと。半導体製造プロセスにおいても、プロセスに必要なガスの圧送用に使われる。不活性の窒素、アルゴン、ヘリウムの他、水素などもキャリアガスとなる。
読み:きょうどうはいそう
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