産業ガス業界辞典

半導体製造装置へのガス供給において、ガス流路や基板レールを設置し、MFC、圧力センサ、圧力調整弁、バルブ、フィルターなどの構成機器を集めて配置した供給システムのこと。設置面積の削減と溶接施工ポイントの削減で不要な紺谷メーションをを防ぐ。

ガス製造工場からローリー車で運ばれてきた液製品を受入、ボンベやＬＧＣなどの小分け充填する工場のこと。シリンダーガスを製造する工場のことを指す。酸、窒素、アルゴン、炭酸ガス、溶接用混合ガス（ＭＡＧガス）以外にも医療ガス、ヘリウム、レアガス、圧...続きを読む

ガス製造工場からローリー車で運ばれてきた液製品を受入、ボンベやＬＧＣなどの小分け充填する工場のこと。シリンダーガスを製造する工場のことを指す。酸、窒素、アルゴン、炭酸ガス、溶接用混合ガス（ＭＡＧガス）以外にも医療ガス、ヘリウム、レアガス、圧...続きを読む

充填所などで充填中に変動するガス温度を測定し、温度に対応した圧力、充填量を監視するためのもの。単ガスのモニターの他、混合ガス充填用のモニターがある。

充填所でガスを充填した容器のこと。

標準ガスの中で、分析機器の校正用のガスである。基準となるガスという意味でゼロガスともいう。

従来の炭化水素系変成ガス（CO、H₂、N₂）に替わり、アセチレンを浸炭ガスとして炉内に供給、鋼材を浸炭処理する技術。真空浸炭同等の処理が可能であり、かつCO₂排出量を従来のガス浸炭に対して90%以上削減できる。

低温液化ガス貯槽からガスを使用する際、昇温してガス化するための設備機器。

FC（燃料電池）トラック、FCバスなどへの水素充填を主目的とした水素ステーション。乗用車よりも一台当たりの水素充填量が多い商用車に対応して、水素充填能力が大きい。大量の水素を高速で充填するため、充填ノズルを2本とするツインノズルなどの工夫が...続きを読む

半導体製造プロセスで使用した後の排ガスを環境規制値以下に無害化処理するための装置。無害化だけでなく地球温暖化対策のため温室効果の高いガスを分解、処理する役割も担っている。