Dictionary
【Periodic Maintenance】
読み:ていしゅう
【Steel Off-Gas】
読み:てっこうおふがす
【Electrolytic Polishing】
読み:でんかいけんま
ガス供給のパイプやチューブに微細なごみが付着しないように、内面平滑度を微小にする技術のこと。メッキの逆原理で、電解液の入った電解槽に被研磨物を浸し、電気を流す。被研磨物の表面の金属がイオン化して溶出することで、平滑な研磨面が得られるというも...続きを読む
【Electronic Material Gas】
読み:でんしざいりょうがす
ガス供給のパイプやチューブに微細なごみが付着しないように、内面平滑度を微小にする技術のこと。メッキの逆原理で、電解液の入った電解槽に被研磨物を浸し、電気を流す。被研磨物の表面の金属がイオン化して溶出することで、平滑な研磨面が得られるというも...続きを読む
【Package Insert】
読み:てんぷぶんしょ
【Japan Industrial And Medical Gas Association】
読み:とくしゅがすこうぎょうかい
【Special Material Gas】
読み:とくしゅがすこうぎょうかい
半導体製造プロセスで使用されるガスの総称。広義では窒素、酸素、アルゴン、水素、炭酸ガスなどのバルクガスと半導体の材料となるガス(製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス)の2種類がある。特殊材料ガスは、プロセ...続きを読む
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