産業ガス業界辞典

超電導マグネット、分析試料などを極低温状態に保つため、液体ヘリウムや液体窒素の冷熱を利用した低温保持槽のこと。ステンレス板の2層構造で真空引きと断熱材で内部をマイナス180度以下に保つ。

ヘリウム冷凍機の極低温を用いて気体分子の運動エネルギーを奪い、残留ガスを冷却パネルに吸着して排気する溜め込み式の真空ポンプ。半導体製造のスパッタリング工程やイオン注入工程などの真空装置の残留ガスを粗引きした後、使用して超高真空状態をつくりだ...続きを読む

半導体、液晶パネル製造時のCVDチャンバーでのプロセス後に生成した反応生成物をエッチングレートの高いガスの化学反応で除去するために使われるガス。クリーニングガスの導入により作業が自動化され、省人化・スループットの向上が図られた。主なクリーニ...続きを読む

水素の環境価値を色分けで示したもので、再エネ由来の水素の事をグリーン水素と称する。化石燃料由来の水素はグレー水素。化石燃料由来ではあるが、CCUSを行って大気中へのCO₂排出を伴わない水素をブルー水素と称している。脱炭素化へのエネルギー転換...続きを読む

高純度の特殊材料ガスを高品質なまま供給するためのパイプライン。銅管は継目なしのシームレス製と溶接パイプの2種類がある。シームレス管は主に小径管で、溶接管は中口径以上である。4ｍの標準パイプは、TIG突合せ溶接で継ぎ、継手やバルブなどを取り付...続きを読む

半導体プロセスで使用するガスをよりクリーンな状態で供給するために容器内面を電解研磨などでクリーン処理した容器のこと。

水素の環境価値を色分けで示したもので、化石燃料由来の水素の事をグレー水素と称している。

半導体工場では、日々大量の特殊材料ガスが消費されており、容器の交換・在庫管理などを行うための窓口商社のこと。半導体工場内に事業所を設置し、スタッフを常駐することで、先の業務を日々行っている。

取り扱いのしやすさから、高圧ガス容器を軽量化したもの。シームレス中容器（47ℓ）では、マンガン鋼52㎏~53㎏に対して、6~7㎏のクロムモリブデン鋼容器がある。また、鋼ではなくアルミやアルミのライナー（内容器）にFRP(強化繊維プラスチック...続きを読む

ガスの一次側及び二次側の圧力を必要値にできる調整弁の1つ。減圧弁は、二次側の圧力を一次側の圧力より低くすることで必要値まで下げ調整するもののこと。

産業ガスの中には、炭酸ガスや水素のように鉄鋼、石油精製、石油化学、アンモニア、ソーダ電解の製造工程で出てくるオフガスを回収、精製して製品化しているものがある。これら原料となるオフガスを供給する事業者の事を原料ガス供給者、原料メーカー、粗ガス...続きを読む

石炭を蒸し焼きにしてコークスを生産する際に副生する水素、一酸化炭素、メタンを主成分とするガスのこと。水素の回収・精製して外販用圧縮水素となる。メタンはC1ケミカル製品の原料となる。

深冷空気分離装置の中で熱交換機、膨張タービン、精留塔などの冷却分離工程の機器設備は、真空断熱されたコールドボックスと呼ばれるユニットの中に内包されている。この断熱された設備一式のことをコールドボックスと呼んでいる。

コイルチューブとは、主に半導体・液晶製造分野でのガス供給用に採用されている配管のこと。BA（光輝焼鈍）コイルチューブは30～200m、EP（電解研磨）コイルチューブの場合、30～100ｍを用いる。採用することにより、一般的なパイプに比べ、1...続きを読む

高圧ガス保安法による高圧ガスの定義は、常用の温度で圧力が1MPa以上のものなどである。 圧縮されたガス体製品を安全に取り扱うために日本では高圧ガス保安法によって、高圧ガスが定義され、高圧ガスの製造、貯蔵、販売、移動、容器の製造や取り扱いが...続きを読む

産業ガスサプライチェーンにおいて、シリンダーガスを中心にユーザーにガス販売を行う事業者のこと。もともと、溶接に関わる溶接機、溶接材料、そしてガスの3種の製品をユーザーに提供していたことから溶材商と呼ばれている。現在では溶接関連以外の用途（医...続きを読む

高圧ガスを充填する容器のことで、本体に溶接を行わないものを溶接シームが無いという意味でシームレス容器と呼んでいる。一般的には内容積47ℓのシームレス中容器で、内容積1ℓ～30ℓのものはシームレス小容器と呼ばれる。大型のものでは、圧縮水素トレ...続きを読む

日本のシリンダーガスは、一般的に14.7MPaで充填されている。在宅酸素用携帯容器など一部には19.7MPaのものもある。充填圧力を上げれば、容器1本当たりの充填量が増すので輸送性や貯蔵性は高まる。ガス消火設備用窒素容器は30MPaの高圧充...続きを読む

大気圧よりも高い気圧環境で、酸素欠乏に起因する患者の病態を改善させるための医療機器。密閉した空間で高圧の酸素を吸引させる。高気圧酸素治療は医療機器であり、美容やスポーツ分野で使われる酸素カプセルとは一線を画している。

産業ガスは、工業ガスとも呼ばれている。産業ガスの用途の多くが工業プロセスで使われていたためである。