産業ガスから世界を読み解くための
キーワード解説

空気分離プラントなど高圧ガス設備は、1年に1回定期修理を行い法定の検査を受けなければならない。その際、プラントは停止してしまうので、産業ガスメーカーはお互いのプラントからガス製品を融通し合っている。これを玉融通という。

装置に損傷などが生じた場合、流入している危険性のあるガスなどが外部に漏れることを防止するもの。高圧ガス保安法で、可燃性ガスや毒性ガス、液体酸素の貯蔵、およびこれらのガスを充填する5000ℓ以上の容器、タンクローリーには緊急遮断装置の設置に関...続きを読む

金型を使わず複雑な3次元の構造物を直接製作していく金属加工法。金属粉体をレーザで溶融しながら成形していく。溶融時にはレーザ加工同様、溶接欠陥の原因となる酸素の混入を防ぐため、不活性ガス（窒素、アルゴン）でシールドしながら、溶融、焼結、造形し...続きを読む

客先から充填所などに返却された後のガスが入っていない容器のこと。

超電導マグネット、分析試料などを極低温状態に保つため、液体ヘリウムや液体窒素の冷熱を利用した低温保持槽のこと。ステンレス板の2層構造で真空引きと断熱材で内部をマイナス180度以下に保つ。

ヘリウム冷凍機の極低温を用いて気体分子の運動エネルギーを奪い、残留ガスを冷却パネルに吸着して排気する溜め込み式の真空ポンプ。半導体製造のスパッタリング工程やイオン注入工程などの真空装置の残留ガスを粗引きした後、使用して超高真空状態をつくりだ...続きを読む

半導体、液晶パネル製造時のCVDチャンバーでのプロセス後に生成した反応生成物をエッチングレートの高いガスの化学反応で除去するために使われるガス。クリーニングガスの導入により作業が自動化され、省人化・スループットの向上が図られた。主なクリーニ...続きを読む

水素の環境価値を色分けで示したもので、再エネ由来の水素の事をグリーン水素と称する。化石燃料由来の水素はグレー水素。化石燃料由来ではあるが、CCUSを行って大気中へのCO₂排出を伴わない水素をブルー水素と称している。脱炭素化へのエネルギー転換...続きを読む

高純度の特殊材料ガスを高品質なまま供給するためのパイプライン。銅管は継目なしのシームレス製と溶接パイプの2種類がある。シームレス管は主に小径管で、溶接管は中口径以上である。4ｍの標準パイプは、TIG突合せ溶接で継ぎ、継手やバルブなどを取り付...続きを読む

半導体プロセスで使用するガスをよりクリーンな状態で供給するために容器内面を電解研磨などでクリーン処理した容器のこと。